基于OpenGL的MEMS工藝幾何仿真技術(shù)研究.pdf

1、MEMS工藝幾何仿真是MEMS CAD關(guān)鍵技術(shù)之一。通過工藝幾何仿真可以檢驗(yàn)器件掩膜版圖及其加工工藝流程設(shè)計(jì)的合理性；仿真結(jié)果——三維實(shí)體模型通過轉(zhuǎn)換成實(shí)體文件亦可導(dǎo)入器件級軟件進(jìn)行器件的性能分析。因此，對工藝幾何仿真的研究具有重要的理論和實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。 首先，本文在版圖文件的命令形式、工藝幾何建模、工藝文件及其設(shè)計(jì)工具的基礎(chǔ)上，提出了仿真系統(tǒng)的設(shè)計(jì)流程，并根據(jù)流程設(shè)計(jì)了系統(tǒng)及其輸入信息存取的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。 然后，基于圖形庫

2、OpenGL完成了包括凹多邊形的分割、多邊形的布爾運(yùn)算、圓的多邊形轉(zhuǎn)化、模型上表面獲取等基礎(chǔ)算法；并針對已建模工藝設(shè)計(jì)了相應(yīng)的仿真算法。 最后，在典型實(shí)體文件SAT文件基礎(chǔ)上，探討了仿真結(jié)果——三維實(shí)體模型其幾何、拓?fù)湫畔⒌奶崛。⑼瓿闪藢?shí)體模型向?qū)嶓w文件的轉(zhuǎn)換輸出，實(shí)現(xiàn)了工藝級與器件級之間的數(shù)據(jù)交換。 文中以微機(jī)械陀螺的幾何仿真過程為例，對仿真系統(tǒng)進(jìn)行了驗(yàn)證，得到的仿真結(jié)果與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)吻合，驗(yàn)證了工藝幾何仿真系統(tǒng)的可行性