基于機(jī)器視覺的全自動探針臺定位技術(shù)研究.pdf

1、⑧論文作者簽名：乙生望；指導(dǎo)教師簽名：論文評閱人1：評閱人2：評閱人3：評閱人4：評閱人5：答辯委員會主席：盔：鴦笠∑燃∑逝選叁羹委員1：鹽文霉∑盞盤重∑疊盤生丑壘盤趟趲委員2：蜜毫鶿∑鱔蠱雖∑逝i亟聾委員3：亟蠢盎叁∑瑩鰱量∑泣遼墊墊委員4：抽迨弛∑雌∑逝遼太婆——委員5：答辯日期：叢且釜三盟]!亟浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要摘要近年來，半導(dǎo)體制造工藝快速發(fā)展，微小芯片的市場需求急劇增加，芯片尺寸、引線間距和焊盤直徑不斷減小，因此對封裝設(shè)

2、備的運(yùn)動精度要求越來越高，基于機(jī)器視覺的檢測技術(shù)已成為IC裝備精度保障的關(guān)鍵技術(shù)。本文研究了機(jī)器視覺在晶圓檢測中的應(yīng)用，基于視覺定位算法設(shè)計(jì)了全自動探針臺中X／Y方向上的三個(gè)主要定位功能：晶圓圓心定位、晶圓位置自動校正以及針尖與針痕中心檢測。全文主要包括以下內(nèi)容：第一章闡述了機(jī)器視覺系統(tǒng)的應(yīng)用及其研究現(xiàn)狀，分析了機(jī)器視覺在晶圓檢測中的應(yīng)用情況，最后給出了論文的主要研究內(nèi)容。第二章分析了全自動探針臺視覺定位系統(tǒng)的三大主要功能需求，給出了全

3、自動探針臺視覺定位系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)方案，根據(jù)系統(tǒng)精度要求完成了視覺系統(tǒng)中相機(jī)、鏡頭的選型。第三章對比分析了四種經(jīng)典邊緣提取算法，在此基礎(chǔ)上提出了多尺度結(jié)構(gòu)邊緣檢測算法，實(shí)現(xiàn)了邊緣點(diǎn)的準(zhǔn)確定位；基于多尺度邊緣檢測算法設(shè)計(jì)了晶圓圓心檢測方案，提高了晶圓圓心定位精度。第四章研究了SURF、SIFT特征點(diǎn)檢測算法，實(shí)驗(yàn)對比分析了兩種算法的優(yōu)劣性。根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果，基于SIFT算法設(shè)計(jì)了晶圓位置校正方案，并通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了該方案的魯棒性以及高精度。第五章