TiO2薄膜的制備及電學(xué)性能研究.pdf

1、近年來，TiO2成為比較熱門的薄膜材料。它屬于二元過渡金屬氧化物半導(dǎo)體材料，在電學(xué)、磁學(xué)、光學(xué)等研究領(lǐng)域，由于其獨(dú)特的性質(zhì)，在光催化、憶阻器、太陽能電池等許多方面有重要的應(yīng)用前景。
　　二氧化鈦主要有三種晶型，板鈦礦、銳鈦礦和金紅石。其中板鈦礦比較不穩(wěn)定，在自然狀態(tài)下存在較少，而銳鈦礦和金紅石較穩(wěn)定，應(yīng)用比較廣泛。本文主要對不同條件和參數(shù)下磁控濺射制備得到不同結(jié)構(gòu)的TiO2薄膜進(jìn)行了分析，總結(jié)并優(yōu)化了薄膜的制備工藝，研究了不同晶體

2、結(jié)構(gòu)間的轉(zhuǎn)變機(jī)制，并對其電學(xué)性能進(jìn)行了研究，分析制備條件對薄膜特性的影響。主要有以下幾方面內(nèi)容：
　　利用磁控濺射鍍膜的方法，在不同氧分壓、不同濺射溫度下制備了一系列的TiO2薄膜。利用拉曼光譜、原子力顯微鏡，XPS光電子能譜分析儀，研究了薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、表明形貌、和價(jià)鍵分析。
　　通過分析，發(fā)現(xiàn)氧含量的變化對二氧化鈦的晶型有一定的影響。在較高的氧分壓下，二氧化鈦更多地以金紅石的結(jié)構(gòu)生成；在較低的溫度下，二氧化鈦更多地以銳鈦