智能拋光方法去除特性及控制技術(shù)研究.pdf

1、非球面光學(xué)元件可以獲得高質(zhì)量的圖像效果和高品質(zhì)的光學(xué)特性，已廣泛應(yīng)用于激光聚變裝置、大型天文望遠鏡、數(shù)碼視聽設(shè)備、光纖通信、醫(yī)療設(shè)備等高技術(shù)領(lǐng)域的光電系統(tǒng)。因此光學(xué)元件的精密制造技術(shù)受到許多國家的重點關(guān)注，拋光作為精密加工的最后一道工序，是非球面面形精度和表面質(zhì)量得到保證的基礎(chǔ)?，F(xiàn)階段，在非球面拋光過程中主要采用由計算機控制的智能拋光技術(shù)。因此加強智能拋光控制關(guān)鍵技術(shù)的研究，對提升非球面拋光效率和精度有著重要的作用。
　　本文針對

2、目前先進光學(xué)元件拋光技術(shù)特點，圍繞提高加工精度和效率的目標(biāo)，對智能拋光控制關(guān)鍵技術(shù)進行研究，主要包括去除特性分析、運動控制算法優(yōu)化、工藝軟件開發(fā)和拋光驗證實驗。
　　(1)根據(jù)小磨頭拋光、能動盤拋光和氣囊拋光的去除機理，分別建立去除函數(shù)的數(shù)學(xué)模型，并進行傅立葉變換，處理得到對應(yīng)的修形能力曲線，分析不同拋光方法對空間頻率誤差的修正能力。
　　(2)建立非軸對稱非球面的氣囊拋光進動運動控制模型，在運動模型的基礎(chǔ)上提出最有效率運動