高精度位移測量系統(tǒng)的硬件研制.pdf

1、位移測量技術(shù)已經(jīng)廣泛深入到人們的生活生產(chǎn)當(dāng)中，隨著科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展，人們對(duì)位移測量的精確度、速度、穩(wěn)定性、效率等都有了更高的要求，能夠測量的位移也越精確。能夠測量位移的傳感器有很多種，其中陣列探測器是一種多象限光電探測器，它具有光敏面大、響應(yīng)速度快、響應(yīng)度高等優(yōu)點(diǎn)，四象限探測器已經(jīng)應(yīng)用于激光制導(dǎo)、空間通信等諸多重要領(lǐng)域。本課題研究的位移測量系統(tǒng)其核心器件就是陣列探測器。
　　 本課題來源于實(shí)際的工程項(xiàng)目“高精度位移測量系統(tǒng)的研

2、制”，該項(xiàng)目主要分為四個(gè)研究子課題，分別是測量系統(tǒng)裝置的硬件研究、系統(tǒng)裝置的軟件研究、系統(tǒng)的定位算法研究和系統(tǒng)誤差校正研究，本文主要完成的是第一部分——測量系統(tǒng)裝置的硬件研究。
　　 論文首先介紹了陣列探測器的物理效應(yīng)及應(yīng)用陣列進(jìn)行光斑位置測試的原理，將陣列探測器測量位移信號(hào)的原理作為依據(jù)，設(shè)計(jì)位移測試系統(tǒng)的總體方案，將其分為三個(gè)子系統(tǒng)——數(shù)據(jù)采集子系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理子系統(tǒng)、供電子系統(tǒng)，詳細(xì)闡述了系統(tǒng)硬件結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)過程，包括各子系統(tǒng)