微流控芯片中液滴的阻抗檢測研究.pdf

1、本文研制了用于液滴阻抗檢測的微流控芯片。搭建了小型液滴阻抗檢測儀，基于剪切法生成液滴，并對液滴內含物濃度、速度以及體積進行檢測研究。本文主要內容包括:
　　建立了微流控芯片中液滴阻抗檢測的理論模型。在液滴經(jīng)過檢測電極時，分析了液滴內部等效電路模型，并且給出了整個電路的阻抗計算公式;研究了液滴阻抗與液滴內含物濃度對應的關系。
　　制作了集成薄膜金屬電極的液滴微流控芯片。利用模塑法制作了含液滴微通道的PDMS（聚二甲基硅氧烷）蓋

2、片;在玻璃底片上，基于MEMS剝離工藝制作了金屬薄膜微電極;利用氧等離子對玻璃底片與PDMS蓋片進行改性處理;使用自行研發(fā)的微裝配裝置對底片與蓋片進行精確定位，最終實現(xiàn)兩者的永久鍵合。
　　基于剪切法在微通道中生成液滴。采用流體聚焦法在十字交叉通道中生成液滴;利用COMSOL軟件對液滴生成進行數(shù)值模擬，保證了液滴能夠大量穩(wěn)定生成;研究了玻璃通道表面修飾對液滴穩(wěn)定生成的影響;分析了表面活性劑對油水兩相之間界面張力的作用。