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1、大功率半導(dǎo)體激光器列陣研制的關(guān)鍵問題之一就是散熱技術(shù).為了提高激光器的輸出功率、可靠性和穩(wěn)定性,該論文選取有源熱沉--微通道熱沉來冷卻大功率半導(dǎo)體激光器列陣.根據(jù)傳熱學(xué)和流體力學(xué)理論,該論文對(duì)微通道熱沉進(jìn)行了熱流模型分析,理論推導(dǎo)了微通道熱沉的熱阻.通過分析,對(duì)微通道熱沉材料、冷卻液、微通道熱沉的結(jié)構(gòu)參數(shù)以及熱沉與激光器列陣條的封裝等進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì).根據(jù)實(shí)際制作條件,設(shè)計(jì)了五層結(jié)構(gòu)微通道熱沉,采用深層光刻分離曝光化學(xué)腐蝕技術(shù)、機(jī)械加工技
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