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文檔簡介
1、哈爾濱工業(yè)大學博士學位論文陣列式空間超分辨共焦顯微掃描探測技術與理論研究姓名：黃向東申請學位級別：博士專業(yè)：光電信息技術與儀器工程指導教師：譚久彬20050601喻爾濱工業(yè)人學工學博士學位論文術，以實現(xiàn)軸向大范圍超精密測量。最后，本文針對陣列式共焦顯微探測技術，在所搭建的實驗平臺上對原理進行了驗證，并對實驗系統(tǒng)的性能進行了測試和實驗研究；測試和分析了不同系統(tǒng)參數(shù)對陣列式共焦顯微成像特性的影響：對典型表面輪廓進行了測試，并驗證了超分辨光瞳
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