通信領(lǐng)域的微機械諧振器和濾波器研究.pdf

1、該論文的主要工作是針對目前微機械諧振器所涉及的三個問題進行了一定的研究,并對梳狀諧振器能量轉(zhuǎn)移的線性問題進行了討論.第一個問題是諧振器具有的高品質(zhì)因子是在真空腔體測量的結(jié)果是盡可能降低空氣阻尼影響的試驗結(jié)果,因為空氣阻尼在所有影響因素中效果最明顯,其是否存在導(dǎo)致Q值有10<'4>的變化幅度.該論文的第二個工作是提出了電容耦合微機械諧振器的原理.第三個問題是關(guān)于提高微機械諧振器頻率的問題.就目前的通信技術(shù)發(fā)展而言,單片系統(tǒng)已明顯地成為PC

2、S系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展方向.IC制作技術(shù)使電路的功能越來越強大,體積越來越小,功耗越來越低,甚至為了提高其性能,許多功能都可以通過軟件來實現(xiàn).IC技術(shù)的進步凸現(xiàn)出PCS系統(tǒng)中無源器件的不足.微細加工技術(shù)制作無源器件必然會成為發(fā)展潮流,因為它解決了無源器件和IC單片集成的問題,使得單片系統(tǒng)的實現(xiàn)指日可待.在低于吉赫茲的頻率段,利用機械結(jié)構(gòu)振動的微機械諧振器因為具有穩(wěn)定性好,功耗小,制作工藝簡單等優(yōu)點,是相當(dāng)受重視的一個研究方向.頻率的進一步提高必