已閱讀1頁，還剩72頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、ZnO是一種新型的Ⅱ～Ⅵ族寬禁帶化合物半導(dǎo)體材料，與GaN具有相近的晶格常數(shù)和禁帶寬度，作為一種短波長光電子器件的優(yōu)良材料，ZnO在光電子領(lǐng)域?qū)⒂兄笠?guī)模的應(yīng)用，它優(yōu)越的光電特性已經(jīng)引起了研究人員的普遍關(guān)注。 本論文采用溶膠-凝膠旋轉(zhuǎn)涂覆工藝，在Si(111)襯底制備了ZnO薄膜及其Al摻雜薄膜、MgxZn1-xO合金薄膜。實驗應(yīng)用正交設(shè)計的思想，結(jié)合XRD測試對制備ZnO系列薄膜的工藝條件進行了優(yōu)化。研究結(jié)果表明，在Si(11
2、1)襯底上制備具有高度c軸擇優(yōu)取向性、良好發(fā)光性能的ZnO薄膜的最佳實驗方案為：Zn+濃度為0.35mol/L，陳化溫度為50℃，預(yù)處理溫度為300℃，退火溫度為650℃；Al摻雜ZnO薄膜為：Al3+濃度1％，陳化溫度50℃，預(yù)處理溫度200℃，退火溫度750℃；MgxZn1-xO合金薄膜為：X=0.15，陳化溫度50℃，預(yù)處理溫度200℃，退火溫度550℃。 光致發(fā)光譜顯示在波長240nm激發(fā)下Si(111)襯底上ZnO薄膜
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 溶膠-凝膠法制備ZnO薄膜及其發(fā)光特性研究.pdf
- ZnO薄膜的溶膠凝膠法制備工藝及其性能的研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ZnO薄膜及其性能研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ZnO薄膜工藝優(yōu)化及其壓敏特性研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ZnO壓敏薄膜及其性能研究.pdf
- 溶膠—凝膠法制備Al摻雜ZnO（AZO）薄膜及其性能研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ZnO薄膜及其光催化性能研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ZnO：Al透明導(dǎo)電薄膜及其性能研究.pdf
- 溶膠—凝膠法制備ZnO薄膜的特性研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ZnO：Sn(TZO)透明導(dǎo)電薄膜及其性能研究.pdf
- 溶膠—凝膠法制備ZnO-Cd薄膜及性能研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ZnO納米薄膜的摻雜研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備Al-F共摻雜的ZnO薄膜及其性能研究.pdf
- p型ZnO薄膜溶膠凝膠法制備工藝及結(jié)構(gòu)性能研究.pdf
- Fe與Cu摻雜ZnO薄膜的溶膠凝膠涂法制備工藝及性能研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備Na摻雜ZnO薄膜的微結(jié)構(gòu)及其性能表性.pdf
- 溶膠凝膠法制備納米ZnO及其光催化性能研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ITO薄膜及其性質(zhì)研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備AI摻雜ZnO納米顆粒膜及其性能研究.pdf
- PLZT薄膜溶膠-凝膠法制備與性能研究.pdf
評論
0/150
提交評論