Nb-,2-O-,5--TiO-,2-和Nb-,2-O-,5--Ta-,2-O-,5-體系陶瓷燒結(jié)工藝及介電性能的研究.pdf

1、分類號(hào)：0 4 6 9題單位代碼：學(xué) 號(hào)：密 級(jí)：北京工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文Y 8 9 0 二二二l O 0 0 5S 2 0 0 3 0 6 0 4 8N b 2 0 5 一T i 0 2 和N b 2 0 5 ．T a 2 0 5 體系陶瓷英文并列 s T u D Y o F T H E P R o c E s s A N D D I E L E c T R I c P R o P E R T I E s題 目 Q 墅照量至Q 5 ：

2、! ! Q 至△叢墅奠曼2 Q 5 ：! 色Q 5g 娶! 墜叁叢! ￡墨研究生姓名： 堂丞撻專 業(yè)： 趟塞查物理 研究方向： 塹型撾料物絲叢廑旦導(dǎo)師姓名： 王越 職 稱： 副熬拯論文報(bào)告提交日期 2 Q Q 魚(yú)生§且 學(xué)位授予日期 2 Q Q 魚(yú)生魚(yú)旦授予單位名稱和地址一一 j E 塞王、業(yè)太堂( 地址；I E 塞壹塑豳匡堊巫圄! Q Q 曼) 由g 縞 ! Q Q Q 2 2A B S T R A C TW i t hm

3、ed e v e l o D m e n to f m i c r o e l e c t r o n i c s ，s i z e s o ft h em i c r o e l e c t r o n i cc i r c u i tb e c o m e s m a l l e r a n d s m a l l e r ． F o r c a p a c i t i v e c o m p o n e n t s ， d i e

4、 l e c t r i c c o n s t a j l t o fm a t e r i a l sl i m i t sd e 礦e eo fm i n i a t u r i z a t i o n ．F o re x a r n p l e ，t h ec a p a c m V ed i e l e c m c 1 a y e ro f D R A M ( D y n a r n i c R a l l d o m A c

5、 c e s sM e m o r y ) i s n o w m a d eo f S i 0 2o rs i 3 N 4 ．T h e i rd i e l e c t r i cc o n s t a n t sa r e3 ．8 a n d 6 ．Os u c c e s s i v e l yI t w i l ln o tm e e tt h en e e do f m e m o r yc a p a b i l i t

6、y i n t h en e a r 如t u r e ．M a t e “a l sw i t hh i g h d i e l e c t r i c c o n s t a n ta n ds m a Ul o s sv a l u e sa r eu r g e n tf o r n e x t g e n e r a t i o nD R A M w i t h o v e r1 G m e m o r y c a p a b

7、 i l i t yN b 2 0 5h a s b e e n t h e p r e f e r r e d m a t e r i a l f o r D R A Mf o r i t s g o o d c o m p a t i b i l i t y w i t hs e m i c o n d u c t o r t e c l l l l i q u ea 1 1 dd o p e d N b 2 0 5 h a s d

8、 i e l e c t r i cc o n s t a n th i 曲t h a n1o o ．T od e v e l o pt h ep r a c t i c a ld i e l e c t r i c l a y e r ，w e s h o u l df i r s t l y s t u d yt h ep r e f e r r e dd o p i n gp e r c e n t a n ds i n t e

9、r i n g c o n d i t i o no f d o p e d N b 2 0 5 c e r a m i c ．D i e l e c t r i cc e r 啪i cs y s t e mo f N b 2 0 s ·T i 0 2 a n dN b 2 0 5 - 1 ' a 2 0 5h a s b e e n p r e p a r e db yc o n v e n t i o n a ls

10、 0 1 i d - s t a t er e a c t i o nt e c l l l l i q u e ．v a r i a t i o no f d i e l e c t r i cp r o p e n i e s a t 1 M H za t2 5 。Ca sa 脅c t i o no f c o m p o s i t i o n i nN b 2 0 5 - T i 0 2a 1 1 dN b 2 0 5 

11、3;r I ’a 2 0 5p 0 1 y c r y s t a 王1 i n ep e l l e t sh a sb e e ns t u d i e d ．T h ep o s s i b l ec r y s 協(xié)l l o g r a p h j cp h a s e sw e r ep r e s e n t e do n t 1 1 eb a s i so f a n a l y s i sb y X —r a yd i

12、贄a c t i o n ．T h em i c r o s _ [ r u c m r e sw e r ed e t e n n i n e d b ym e a n so f s c a n n i n ge l e c t r o nm i c r o s c o p y ( S E M ) o b s e r v a t i o no n t } l es u r f a c eo ff h c t u r e ．T h ed

13、 i e l e c t r i c c o n s t a n ta n d 1 0 s s w e r em e a s u r e dt o o b s e r v em er e l a x a t i o nb e h a v i o ra s af u n c t i o no f t e m p e r a t u r ea n df r e q u e n c y ．T h em i x e dp o w e r w a

14、 s p r e s s e db yu n i l a t e r a lm 0 1 d i n g t e c h n o l o g ya n d t h e a 1 1 i s o t r o p y b e h a v i o ro f d i e l e c t r i cp r o p e r t yw a s m e a s u r e d ．1 1 1 i s r e s e a r c h 、) l r i l l

15、i m p e l t h ed e v e l o p m e n ta n d a p p l i c a t i o n o fn e wd i e l e c 塒cs t o r a g em a t e r i a l ．I ti ss o m es i g l l m c a l l c et ot 1 1 e n e x tg e n e r a t i o nD R A M d e v e l o p m e n t ，

16、a n d t h e n i th a st h e p o s i t i V ef u n c t i O n t ot h es o c i a le c o n o m i c d e V e l o p m e m ．K e y w o r d s ：( N b 2 0 5 ) I ．。( T i 0 2 ) x ；( N b 2 0 5 ) 1 ．x ( T a 2 0 5 ) x ；d i e l e c 訂i cp r