雙臂式水平臂三坐標(biāo)測量機(jī)誤差補(bǔ)償技術(shù)研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代制造技術(shù)的迅速發(fā)展，三坐標(biāo)測量機(jī)正逐漸成為機(jī)械制造業(yè)特別是自動化生產(chǎn)中實現(xiàn)質(zhì)量控制的主要檢測設(shè)備。高速高精度三坐標(biāo)測量機(jī)是當(dāng)今測量機(jī)發(fā)展的方向。為了提高三坐標(biāo)測量機(jī)的測量精度，誤差補(bǔ)償技術(shù)得到了廣泛的應(yīng)用。本文詳細(xì)論敘了雙臂式水平臂三坐標(biāo)測量機(jī)的誤差補(bǔ)償。 誤差補(bǔ)償技術(shù)的關(guān)鍵是誤差補(bǔ)償模型的建立。根據(jù)水平臂式三坐標(biāo)測量機(jī)的機(jī)構(gòu)特點，建立了含有附加函數(shù)項的非剛體誤差補(bǔ)償模型。利用力學(xué)知識對測量機(jī)的橫梁、立柱、滑套等關(guān)鍵部件

2、進(jìn)行分析并推導(dǎo)出附加函數(shù)項的理論公式。在非剛體誤差補(bǔ)償模型的基礎(chǔ)上，推導(dǎo)出整機(jī)的誤差補(bǔ)償模型。 利用雙頻激光干涉儀、電子水平儀等高精度測量儀器測量三坐標(biāo)測量機(jī)的幾何誤差，同時運(yùn)用理論知識求出附加函數(shù)項的各項系數(shù)，分離出含有附加函數(shù)的各項幾何誤差。運(yùn)用數(shù)學(xué)模型和測量所得的幾何誤差進(jìn)行誤差補(bǔ)償軟件的編制。 最后，利用雙頻激光干涉儀測量空間對角線的位置誤差來驗證誤差補(bǔ)償?shù)男Ч?。實驗結(jié)果證明，所建立的誤差補(bǔ)償模型能有效的對測量機(jī)