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1、本文主要研究了氫化對n型金屬誘導(dǎo)橫向結(jié)晶多晶硅薄膜晶體管熱載流子退化的影響。主要包括轉(zhuǎn)移特性的退化和輸出特性的退化兩部分內(nèi)容。對于轉(zhuǎn)移特性的退化，我們是用統(tǒng)計的方法進行系統(tǒng)地研究，首次證明了等離子體氫化不僅大大地改善了應(yīng)力前轉(zhuǎn)移特性各參數(shù)的性能，而且極大的提高了器件轉(zhuǎn)移特性各參數(shù)的熱載子耐受力，延長了器件的使用壽命。對于輸出特性的退化，應(yīng)力后氫化器件的各參數(shù)并沒有得到很大改善，其中飽和電流的退化明顯要比非氫化器件的嚴重。研究表明，在金屬
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