光接收機(jī)前端電路測試技術(shù)研究.pdf

1、在整個集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中，集成電路測試是重要的一環(huán)。因為即使研制出高水平的器件、電路和系統(tǒng)，如果測試技術(shù)不成熟，那么測試結(jié)果的可靠性就不能得到保證。可以說，集成電路的測試技術(shù)直接決定著對被測器件、電路和系統(tǒng)特性的評價。 光接收機(jī)前置放大器的測試由于其超高速、超寬帶和電流源激勵的特點，是集成電路與系統(tǒng)測試領(lǐng)域最具有挑戰(zhàn)性的理論與實驗性研究課題。本文研究利用現(xiàn)有儀器間接測量光接收機(jī)前置放大器相關(guān)技術(shù)參數(shù)來確定電路性能參數(shù)的理論與技術(shù)。

2、 在前置放大器等效電路模型基礎(chǔ)上，本文建立了跨阻增益與散射參數(shù)即S參數(shù)之間的關(guān)系，提出了通過測量前置放大器小信號S參數(shù)間接獲得跨阻增益和帶寬的方法，給出了在晶圓S參數(shù)測試系統(tǒng)，分析了S 參數(shù)測試中的校準(zhǔn)技術(shù)和測試流程；建立了噪聲系數(shù)與等效輸入噪聲電流譜密度的關(guān)系，提出了通過測量光接收機(jī)前端電路噪聲系數(shù)間接獲得等效輸入噪聲電流譜密度的方法，給出了在晶圓噪聲系數(shù)測試系統(tǒng)；分析了噪聲系數(shù)測試中通過去嵌入提高測試的精確度方法；建立了前置

3、放大器在晶圓時域測試系統(tǒng)，提出了誤碼率測試和眼圖測試方法。 為了驗證所提出的理論和方法，采用0.6μmCMOS工藝完成了SDH中最重要和最基本的傳輸模塊STM-1系統(tǒng)光接收機(jī)前置放大器的設(shè)計、流片制造、在晶圓測試和封裝測試。分析比較了相同增益帶寬下，高阻和互阻兩種結(jié)構(gòu)前置放大電路的噪聲性能，為155Mb/s前置放大電路提供了優(yōu)化設(shè)計方案。 在研究光接收機(jī)前端電路主要性能參數(shù)測試技術(shù)的同時，還開展了高頻/高速集成電路測試技