基于圖像處理技術(shù)的TFT-LCD微米級缺陷檢測方法研究.pdf

1、與傳統(tǒng)的陰極射線管(CRT,Cathode Ray Tube)顯示器相比，薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD，Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)具有高分辨率、高亮度、無幾何變形、體積小、重量輕和功耗低等特點，作為新一代平板顯示器，它具有強大的競爭優(yōu)勢。價格是影響LCD市場的主要因素之一，為了降低LCD的生產(chǎn)成本，提高LCD的成品率，必須開發(fā)出實時高效的缺陷檢測技術(shù)。薄膜晶體管液晶顯

2、示器的生產(chǎn)過程包括近百道工序，盡管TFT-LCD顯示屏的大部分生產(chǎn)工序都是在無塵室完成的，還是不可避免地出現(xiàn)一些缺陷。目前絕大多數(shù)的TFT-LCD缺陷檢測是針對肉眼看得到的大缺陷，但是對于遠遠小于一個顯示像素的小缺陷，這些方法是無法檢測的。因此，對微米級缺陷檢測算法的研究具有重要的意義。
　　針對現(xiàn)有薄膜晶體管液晶顯示器自動缺陷檢測算法只能檢測肉眼可見的缺陷，不能檢測肉眼不可見的微米級缺陷的問題，本文提出一種基于圖像處理的TFT-

3、LCD微米級缺陷檢測算法。為了實現(xiàn)采集所得的TFT-LCD玻璃基板圖像與模板圖像的快速精確對準，本文提出一種基于局部圖像模板匹配的圖像配準方法，在亞像素級別上實現(xiàn)采集的原始圖像與模板圖像之間的圖像配準。在此基礎(chǔ)上，提出基于差影法和亞像素級圖像配準的TFT-LCD微米級缺陷自動檢測算法，實現(xiàn)TFT-LCD微米級缺陷的快速自動檢測。
　　將該方法應(yīng)用于實際TFT-LCD玻璃基板缺陷檢測設(shè)備上，檢測結(jié)果表明，本文提出的基于圖像處理的TF