基于軟刻印技術的微透鏡陣列制作.pdf

1、分類號密級UDC注1學位論文基于基于軟刻印技術的微透鏡陣列制作印技術的微透鏡陣列制作（題名和副題名）吳非吳非（作者姓名）指導教師姓名陳文彬陳文彬副教授教授電子科技大學電子科技大學成都成都（職務、職稱、學位、單位名稱及地址）申請學位級別碩士碩士專業(yè)名稱光學工程光學工程論文提交日期2008.4論文答辯日期2008.5學位授予單位和日期電子科技大學電子科技大學答辯委員會主席評閱人2008年4月日注1：注明《國際十進分類法UDC》的類號摘要I摘

2、要摘要有機電致發(fā)光從最初進行的研究直到今天，在許多方面都有了很大的突破，但目前仍存在著一些困難，例如器件的壽命就是比較關鍵的問題。如果器件具有較高的發(fā)光效率，便可在出射光子數(shù)相同的情況下，減少電子數(shù)的注入，從而降低了器件的焦耳熱，提高了器件的壽命，所以提高OLED的量子效率是解決器件壽命問題的關鍵所在。利用微透鏡提高器件的外量子效率可以取得明顯的效果。第一章介紹了有機電致發(fā)光器件的優(yōu)點，器件的幾種結構，發(fā)光的機理，以及評價有機電致發(fā)光器

3、件的一些主要參數(shù)。闡述了OLED是一種很有前途的顯示技術，以及存在的一些困難。第二章介紹了折射型和衍射型微透鏡，尤其介紹了折射型微透鏡的制作方法和圖形轉移技術，闡述了利用微接觸法制作微透鏡的優(yōu)勢。第三章首先從理論上計算了OLED器件的外量子效率，然后介紹了光學軟件Tracepro的優(yōu)點和工作原理，利用Tracepro對OLED及其微透鏡進行光學仿真方面進行了探索，并對微透鏡相關參數(shù)進行了優(yōu)化。第四章研究了OLED器件的折射型微透鏡制作工

4、藝，介紹了采用高分子聚合物材料Poly(dimethylsiloxan)制作微透鏡陣列的優(yōu)劣和詳細的制作工藝參數(shù)等，脫膜是本實驗中最關鍵的一步，主要是由于高分子聚合物PDMS對玻璃有很強的黏附性，固化成膜之后就和玻璃基板粘在一起，很難剝離。所以在實驗中保持對固化過程的密切注意，等到PDMS固化成形但尚未完全固化時進行剝離，然后繼續(xù)烘烤，使其完全固化得到微透鏡陣列。利用濕法刻蝕玻璃作為模版，采用PDMS作為材料制作了直徑200微米的柱微透