基于LabVIEW的納米三坐標測量機控制.pdf

1、本研究為納米級三坐標測量機各個工作部分分別提出了可行的控制方案，為新型的位移傳感器開發(fā)出相應的測量軟件。 本研究所針對的納米三坐標測量機須實現(xiàn)20mm×20mm×10mm的量程，以自行開發(fā)的線性衍射光柵干涉儀(LinearDiffractionGratingInterferometer，LDGI)作為位移傳感器，以DVD測頭作為Z軸觸發(fā)探頭。 本研究以圖形化編程語言LabVIEW為軟件平臺，開發(fā)出納米三坐標測量機的軟件系

2、統(tǒng)，主要工作包括：LDGI信號的采集和處理、周期計數(shù)和信號細分、位移計算、X-Y平臺定位控制、DVD測頭的控制、Z軸位移測量及DVD測頭數(shù)據(jù)修正、測量數(shù)據(jù)處理以及典型的應用程序開發(fā)。 對于該納米級三坐標測量機，三軸的運動控制法則尤其重要，它保證了傳感器的正常工作。本研究采用傳統(tǒng)PID結(jié)合神經(jīng)網(wǎng)絡的控制算法實現(xiàn)低速平穩(wěn)的運動控制，并分析導軌的摩擦力特性，增加相應的補償環(huán)節(jié)，改善位移信號的品質(zhì)。通過三種不同速度和分辨率的驅(qū)動方式(A