CrAlTiN鍍層對于提高銑刀使用壽命的研究.pdf

1、為了成功的將閉合場非平衡磁控濺射離子鍍技術(shù)制備的CrAlTiN鍍層應(yīng)用于銑刀,提高銑刀的使用壽命,本文選擇了五種不同的基體偏壓在分析試塊上進(jìn)行鍍層制備。鍍層性能的檢測結(jié)果顯示,隨著基體偏壓絕對值的升高,鍍層的硬度、膜基結(jié)合力、耐磨性出現(xiàn)了先升高后降低的趨勢。通過對比分析,結(jié)合被鍍層銑刀的材質(zhì),選出75V、80V基體負(fù)偏壓對應(yīng)的鍍層分別用于鋸片銑刀和PCB用鑼刀。使用結(jié)果表明,75V基體負(fù)偏壓對應(yīng)的鍍層可提高銑刀硬度,防止銑刀與銅的粘結(jié),

2、將鋸片銑刀使用壽命提高到3倍以上;80V基體負(fù)偏壓對應(yīng)鍍層韌性好,抗PCB材料侵蝕,鍍層后的鑼刀使用壽命提高到4倍以上。在CrAlTiN鍍層組織結(jié)構(gòu)與相的測定中,SEM、TEM、XRD的綜合結(jié)果顯示:CrAlTiN鍍層中的晶粒隨著基體偏壓絕對值的升高而細(xì)化;鍍層中存在Cr2N及Ti2N兩相,有可能存在CrN、TiN和AlN相;鍍層中存在大量的非晶相,且非晶量隨著基體偏壓絕對值的升高而增多;鍍層中晶粒細(xì)小,屬于納米尺寸,彌散分布于非晶相。