基于白光干涉測量的大量程高精度光程掃描延遲線研究.pdf

1、白光干涉測量技術(shù)是精密器件性能測試、分布式傳感等領(lǐng)域的重要手段，光程掃描延遲線作為白光干涉測量的關(guān)鍵器件，其指標（掃描量程、分辨率等）對白光干涉測量的測量范圍、空間分辨率等性能具有決定性影響。作為集光、機、電為一體的器件，其穩(wěn)定性也是影響系統(tǒng)整體穩(wěn)定性的重要一環(huán)。如何設(shè)計掃描量程更大、精度更高、插入損耗及波動更小、穩(wěn)定性更好的光學(xué)延遲線，是白光干涉測量領(lǐng)域不斷探索的問題。
　　本論文針對大量程高精度光程延遲線的參數(shù)選取、調(diào)節(jié)及穩(wěn)定

2、方法、擴展方法、白光干涉測量應(yīng)用開展相關(guān)工作，其主要內(nèi)容有：
　?。?）根據(jù)光程掃描延遲線使用的光學(xué)器件性能及其參數(shù)分析，對其調(diào)節(jié)和鎖緊結(jié)構(gòu)進行設(shè)計。通過對準直鏡光斑、掃描波動進行計算，對掃描過程中光學(xué)器件的偏差進行限定；設(shè)計光程延遲線的機械結(jié)構(gòu)，對調(diào)節(jié)的機械壓力和強度進行計算，利用軟件模擬該結(jié)構(gòu)下的應(yīng)力、應(yīng)變及位移狀態(tài)，為下一步制作提供理論依據(jù)和技術(shù)參考。
　?。?）提出一種光程延遲線的調(diào)節(jié)及其穩(wěn)定性提升方法。使用四象限探

3、測器，改進準直鏡的校準方式，將光束偏角控制在0.1mrad內(nèi)；提出一種雙45度反射鏡的調(diào)節(jié)方法，降低掃描插入損耗及其波動；提出一種提升穩(wěn)定性的方法，使延遲線的存儲溫度可達-30℃～60℃。
　?。?）對光程延遲線掃描量程擴展與接續(xù)（標定）方法進行研究。在大量程高精度光程掃描延遲線的基礎(chǔ)上，利用多種方法擴展掃描量程，最高可將掃描量程擴展至1.6m；在固定和連續(xù)延遲擴展的基礎(chǔ)上，利用干涉光路對其接續(xù)進行精確標定。
　　（4）分別

4、對研制的多種光程延遲線損耗進行測試，并對其溫度穩(wěn)定性測試。將其應(yīng)用在白光干涉測量系統(tǒng)中，測試其在多種測量光路中的表現(xiàn)。
　　根據(jù)以上工作，研制分辨率為0.3fs的延遲線有：量程為200mm的延遲線，其插入損耗及波動分別低于1.5dB、±0.08dB；量程為400mm的延遲線，其插入損耗及波動分別低于1.5dB、±0.1dB；量程為600mm的延遲線，其插入損耗及波動分別低于2dB、±0.15dB。在雙通模式下，分辨率為0.6fs、